路透东京8月11日电- - -日本佳能周二表示，市场对其新型光刻芯片制造设备的初步兴趣超出预期，佳能正大力推动缩小与荷兰公司ASML的差距。
凭借其极紫外线(EUV)光刻机，阿斯麦已成为欧洲最有价值的科技公司。这种光刻机利用光束制造电路，台积电(TSMC)和英特尔(Intel)都利用它来制造尖端芯片。
去年10月，佳能推出了其新型纳米压印光刻机，可将电路图案直接印在晶圆上。该公司强调该工具的低成本和低功耗，其前景成为行业争论的话题。
佳能财务和会计总部负责人浅田实(Minoru Asada)对记者表示，虽然现在说这些机器何时能促进佳能的销售还为时过早，但“反响比我们预期的要大”。
浅田说，公司的目标是先推出用于生产存储芯片的机器，然后再扩展到其他领域。
佳能预计，受用于人工智能任务的电源芯片和图形处理单元(GPU)需求的提振，在截至12月的财年，佳能现有光刻机的销量将达到247台，而去年同期为187台。
(Sam Nussey和Miho Uranaka报道，Kylie MacLellan编辑)
